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ハーメチックシール技術

ハーメチックとは?

ハーメチックとは、外気を完全に遮断する気密封止構造のことを指します。
電子部品を空気中の湿気や埃、熱などの環境条件から保護するために、ガラス・セラミック・銀ろう・金属で封着します。

ハイジェントの接合技術は、様々な材質を適切にハーメチック(気密封止)するために、物性を考慮し、高熱から徐々に低温へ幾重の処理を用いることが可能です。

工程別作業温度

  

ガラスハーメチック(コンプレッションシールとマッチング)

ガラス端子に用いるガラスハーメチックシールには、コンプレッションシールとマッチングシールがあり、どちらもガラスと金属の熱膨張係数が重要となります。
シール方法については、仕様用途、使用環境に適した選択が可能で、ともに高い気密性、電気絶縁性を得られます。

コンプレッションシール(圧縮封止)

ガラスと金属の熱膨張差を利用し、金属からガラスへ圧縮応力をかけて封止します。機械的強度に優れた封止方法ですが、金属部からの圧縮応力を十分に加える設計が必要となります。

  材質 熱膨張係数α
金属 120×10-7/℃
ガラス 軟質ガラス 95×10-7/℃
リード FeNi 95×10-7/℃
 マッチングシール(整合封止)

 金属表面に強制的に酸化皮膜を形成し、それを接着剤として封止します。
ガラスと金属は広い温度範囲にわたり熱膨張が一致したものを使用する為、製品形状に影響されることなく、自由な設計が可能な封止方法です。

  材質 熱膨張係数α
金属 コバール 50~60×10-7/℃
ガラス 硬質ガラス 45~50×10-7/℃
リード コバール 50~60×10-7/℃
 
用途

これらの接合技術は、通信用レーザーダイオードやケーブルTV用デバイスなど、様々な場面で活用されております。

気密性の保証性能と使用温度環境

ハーメチック(気密封止)製品としての保証性能は常温・無負荷環境において、以下の封止性能を保証いたします。

1×10-9Pa・m3/sec

ガラスハーメチックと銀ろう付け製品の、無負荷状態における使用温度環境は、400℃です。
また、製品形状や最終接合処理した温度と気密に関わってくる為、想定温度環境をお伺いした上で、製品設計させて頂きます。

この他にも、接合・ハーメチックに幅広く対応いたします。
ご要望をお問い合わせください。

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